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产品名称：
TYFB-3600涡轮分子泵
B-3600分子泵电源
产品参数：
TYFB-3600涡轮分子泵结构简图见图-1，技术数据见表-1，抽速曲线见图-2，对氮气及氢气的压缩比见图-3。
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表-1 TYFB-3600涡轮分子泵技术参数表 |
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型号 |
TYFB-3600 |
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高真空法兰 |
400 ISO-K |
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前级管道法兰 |
100 ISO-K |
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抽气速率(L/S) |
3600 |
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压缩比 |
N2 |
>108 |
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H2 |
>6X102 |
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极限压强(Pa) |
<2×10-6 |
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额定转速(rpm) |
13500 |
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使用轴承 |
进口陶瓷轴承 |
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振动值（μm） |
≤0.15 |
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启动时间(min) |
<11 |
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停机时间(min) |
<16 |
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建议采用的前级泵（L／S） |
30-70 |
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充油量(ml) |
100 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水温度（℃） |
≤20 |
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冷却水流量(L/min) |
1 |
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泵体烘烤温度（℃） |
<120 |
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环境温度（℃） |
5-40 |
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安装方向 |
垂直±5° |
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泵重量(kg) |
≈124 |
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图-2 TYFB-3600涡轮分子泵抽速曲线
图-3 TYFB-3600涡轮分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线
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