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SS-II系列直流磁控溅射电源技术规格 SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出,电源调节通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。该电源具有良好的电弧控制能力和负载特性，性价比高，适用于金属及部分反应膜层环境使用。 |
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电源功率范围 |
3/6/12/20/30/40KW
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输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz
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输出方式 |
直流
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输出电压 |
空载800V
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输出特性 |
恒流/恒功率/恒压
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灭弧时间 |
≤20uS
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输出精度 |
优于1％
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冷却方式 |
3-12KW风冷 20-40KW水冷
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辅助功能 |
高温、结露、短路、开路指示及信号输出（高温、结露限于水冷机型）
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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