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BOMB VS系列直流叠加脉冲偏压电源技术规格 |
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BOMB VS系列偏压电源工作于二级高频变换模式，有单极脉冲、直流叠加脉冲、低压直流三种输出方式，主电源电压、副电源电压、脉冲宽度独立调整。灵活的输出方式适用于工具膜、装饰膜以及工艺开发等多种应用环境，特别是直流叠加脉冲的方式，在控制工件温度的同时，本底直流电压有效维持了偏压的连续状态，对工具镀膜十分有利。 |
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电源功率范围 |
10-80kW [不包括副电源] |
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输入电源 |
AC380V±10％三相四线制 50-60HZ |
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输出方式 |
脉冲/ 直流叠加脉冲/低压直流 |
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输出电压 |
0-180V 0-500V 0-1000V [主电源，脉冲输出时为峰值电压] |
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脉冲频率 |
40kHz |
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脉冲百分比 |
10-90％连续调节 |
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a副电源功率 |
6kW/12kW |
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a 副电源输出电压 |
DC0-100V |
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灭弧时间 |
≤3μs |
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输出电压稳定率 |
主电源5% 副电源1% |
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冷却方式 |
10-50kW风冷60-80kW水冷 |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-40℃ 压力 0.15±0.05MPa |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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