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SS II系列直流磁控溅射电源技术规格 |
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SS II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性，性价比高，适用于金属及部分反应膜层环境使用。 |
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电源功率范围 |
2-120kW |
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输入电源 |
AC380V±10％三相四线制 50-60Hz |
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输出方式 |
直流 |
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输出电压 |
空载900V |
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输出特性 |
恒流/恒功率/恒压 |
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灭弧时间 |
≤20μs |
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输出稳定率 |
0.5％ |
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冷却方式 |
2-12kW风冷 20-120kW水冷 |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-40℃ 压力 0.15±0.05MPa |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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