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SST系列中频磁控溅射电源技术规格 |
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SST系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流输出频率40kHz。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，双靶交替工作，因此工作周期内每个溅射靶有一半以上的时间为反向电压，使靶材表面积累电荷充分泄放，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。 |
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电源功率范围 |
2-120kW |
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输入电源 |
AC380V±10％三相四线制 50-60HZ |
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输出方式 |
准正弦波 |
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输出频率 |
40kHz |
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输出电压 |
空载1200V[有效值] |
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输出特性 |
恒流/恒功率/恒压 |
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灭弧时间 |
≤3μs |
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输出稳定率 |
1％ |
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冷却方式 |
2-10kW风冷 20-120kW水冷 |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-40℃ 压力 0.15±0.05MPa |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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