BIV-40/60系列偏压电源技术规格

BIV-40/60系列偏压电源工作于高频二级变换模式，正负双极性脉冲、反向单极性脉冲、

反向直流三种输出方式。电源的正向电压随动调整，频率及占空比独立调整。因电源输出具备双极性特征，可预前抑制工件表面积累电荷造成的打火现象，消除镀件电弧击伤，并改变膜层沉积规则。BIV-40/60系列偏压电源输出采用一段式调节，电流自动匹配电压输出，没有档位切换产生的电压跳变和断点，结合多种输出模式使此系列电源更适合硬质膜层沉积。

电源功率范围

40KW/60KW

副电源功率

12KW

输入电源

三相四线制380V±10％50-60Hz

输出方式

双极性脉冲/反向单极性脉冲/反向直流

脉冲频率

40KHz

脉冲占空比

0-100%连续调节

输出电压

0-1000V[直流/峰值电压]

副电源输出电压

0-120V[副电源，峰值电压]

灭弧时间

≤1uS

输出精度

优于1％

冷却方式

水冷     

辅助功能

高温、结露报警

使用环境

环境温度 0-40℃

环境湿度 相对湿度≤85％

空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质

水温 20-30℃

压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整