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SSPH系列高功率脉冲磁控溅射电源技术规格 |
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SSPH系列高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）电源工作于二级高频变换模式，直流脉冲输出。单个脉冲可输出2-8兆瓦的峰值功率。高功率密度的阴极材料将产生高的金属离化率 ，并且不含靶材颗粒，本系列电源制备的涂层表现出良好的结合力和致密性，适用于硬质膜层及高端装饰膜层制备。 |
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电源功率范围 |
15/20/30/40KW |
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输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz |
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输出方式 |
单极性窄脉冲 |
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脉冲宽度 |
5-250uS |
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脉冲频率 |
最高500HZ |
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输出电压 |
空载1000-2000V |
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输出电流 |
1200A 2400A3600A4800A |
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灭弧时间 |
≤1uS |
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负载持续率 |
100% |
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冷却方式 |
风冷 |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
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通讯方式 |
RS485/RS232 |
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说明：电源的输出功率可根据使用需要作相应调整 |
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