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SS III系列直流脉冲磁控溅射电源技术规格 |
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SS III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出，电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工作时，溅射靶工作于高频率间歇状态，使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，适用反应溅射膜层。 |
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电源功率范围 |
6-120kW |
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输入电源 |
AC380V±10％三相四线制 50-60HZ |
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输出方式 |
脉冲 |
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脉冲宽度 |
10-90％ |
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输出电压 |
空载1000V[峰值电压] |
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输出特性 |
恒流/恒功率/恒压 |
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灭弧时间 |
≤3μs |
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输出稳定率 |
0.5％ |
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冷却方式 |
6-12kW风冷 20-120kW水冷 |
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使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
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冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-40℃ 压力 0.15±0.05MPa |
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通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
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说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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