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JCR-40C 旋转磁控溅射阴极在光伏制造、ITO触屏、LOW-E等行业 有广泛应用。相比平面溅射系统,在成本、生产效率和技术指标 方面均有更好的表现,同进口品牌相比性价比更高。
1.特点：
磁流体真空旋转密封,长寿命低漏率
长寿命的陶瓷旋转水密封装置
非真空环境下的双向推力轴承,任意角度安装
大电流高耐磨电刷
可靠的大水流分水设计
靶管全充满水流设计,冷却更可靠
无需维护的全密封防水磁路结构
电机驱动齿形带容易更换,无需拆卸传动部件
对水温、水流、传动、水封实时监测和故障报警
对靶材寿命和阴极异常工作进行监控和记录(选项)
触屏显示参数和PLC控制,可进行本地和远程控制
2.参数：
靶材长度
2000 mm
工作真空度
1.3x10-1Pa - 1.3Pa
溅射不均匀性
小于±5%
靶材转速
~15rpm
冷却水温度
15oC - 40oC
冷却水流量
60 lpm
冷却水压
最大 5kg/cm2
端头冷却水接口
15mm ID
支付宝签约商家
100%原产地
七天退货保障
满98元包邮
400城市送货上门
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