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PM-148 扫描磁场溅射阴极在光伏制造、ITO触屏、LOW-E 等行业有广泛应用。相比传统平面溅射系统,在成本、生产效率 和技术指标方面均有更好的表现,同进口品牌相比性价比更高。
1.特点：
大气侧扫描部件,移动部件不影响真空环境
结构紧凑可靠,扫描系统与水路电路相互隔离
磁路横向直线扫描,可选择多种速度曲线模型
通用接口和安装模式,可以直接升级传统平面阴极
磁路结构简单,可设计强磁场适应不同材料和应用
磁路结构调整方便,可适应非磁性和导磁性材料
与传统换靶方式相同,无需水路和运动部件
对水温、水流、传动实时监测和故障报警
对靶材寿命和阴极异常工作进行监控和记录(选项)
触屏显示参数和PLC控制,可进行本地和远程控制
2.参数：
最大工作电流
100A
最大工作功率
40kW DC
靶材最大长度
2000 mm
工作真空度
1.3x10-1Pa - 1.3Pa
溅射不均匀性
小于±5%
磁场扫描速度
内置速度曲线
冷却水温度
15oC - 40oC
冷却水流量
40 lpm
冷却水压
最大 3.5kg/cm2
冷却水接口
15mm ID
支付宝签约商家
100%原产地
七天退货保障
满98元包邮
400城市送货上门
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