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备、生化检测分析、半导体、微电子、太阳能、材料处理等相关设备及工艺流程。
原理 PLINCIPLE
干式复合螺杆真空泵是由两根平行的螺杆转子与泵体之间形成密封空间，在转子与转子和转子与泵体之间保持一定转动间隙无摩擦，在反向同步齿轮驱动下，气体持续由进气口进气向排气口排气的真空泵。因为转子和泵体之间没有摩擦，保持泵腔干净，无需润滑油，螺杆真空泵可以抽除大量水蒸气、溶剂、少量粉尘，以及用于气体和溶剂回收等工艺。螺杆真空泵无中间隔板（多级爪式真空泵和多级罗茨真空泵有），持续推进，气体通道短，效率高，易清洗，不易阻塞，具有 显著的优点 。
极限真空高，≤3Pa（可定制≤1Pa），工作区域宽，从极限真空到大气压可连续运行。
采用最先进的磁力密封装置使密封更加可靠，排气通畅，具有良好的液体处理能力。
重量轻，采用新型轻型材料，重量较轻。 噪音低，采用高精度加工零件，噪音较低。
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