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罗茨螺杆真空机组是由罗茨真空泵为主泵与中间泵、螺杆真空泵为前级泵，同时配有管路、阀门、机架及电器控制箱等组成的无油真空机组。罗茨真空泵与螺杆真空泵工作原理与结构相似，罗茨真空泵与螺杆真空泵组成的机组具有螺杆真空泵的优点，同时通过串联大抽速的罗茨真空泵，成倍增大抽速，提高极限真空度，同时使抽气系统具有较好的节能效果。罗茨螺杆机组真空度高，高真空区内抽气效率高。通过配套的控制系统，机组可以自动启、停，并具有过载、过流、断水等自动保护功能。整个真空机组可以进行防腐处理，使之能用于抽除腐蚀性气体的场合。机组各真空泵采取合理地布置，机组占地面积小，且各泵与中间管路均不易积存异物，在抽除含少量可凝性气体或少量粉尘的气体时具有明显的优势。
根据被抽真空系统的容积大小、工作压力等因素合理配置真空机组，真空机组中各泵之间的抽速比可选取1:2~1:8之间，抽速比增大会使真空泵的抽气效率下降，工作压力范围縮小，造成罗茨泵启动延时，从而使预抽时间延长。
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