在使用油扩散泵或分子泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。超低温冷冻机可以缩短抽真空60-90%的时间，是解决上述问题的最佳选择。将一个能到-130℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60—90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8Torr、10-5Pa）。
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