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不定期推售二手氦质谱检漏仪莱宝,普发,爱发科,英福康

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深圳市天铉真空技术有限公司
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二手真空设备检漏仪

深圳市天铉真空技术有限公司

氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。

检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。

在这个密封腔体内充满氦气,用质谱检漏仪在不腔体外,不同部位检测,如果密封存在问题,则有氦气泄漏,被质谱仪检测到。
质谱检漏仪是一种简易的质谱仪,对分辨率和检测的质量范围要求很低,但对灵敏度要求较高。
楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪的原理分析过程
其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪,只是出于成本和灵敏度的考虑,更多的用的是四极杆质谱检漏仪。
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