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控温方式 |
数字式功率调整器 |
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镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
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最大功率 |
≤800W |
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最大输出电压电流 |
电压≤10V 电流≤80A |
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真空度 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
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挡板类型 |
电控 |
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样品室 |
石英腔体φ160mm x 160mm |
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样品台 |
可旋转φ62 （最大可安装φ50基底） |
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样品台转速 |
8转/分钟 |
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样品热源调节距离 |
70-140mm |
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蒸发温度调节 |
≤1600℃ |
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蒸发坩埚容积 |
3ML |
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真空法兰 |
KF25抽气口 KF25扩展口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
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可选配扩展 |
1 膜厚在线测试 2 分子泵 |
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