真空腔体

腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

加热台材质

304不锈钢

内腔体尺寸

φ160x90mm 

观察窗尺寸

Φ70mm

加热台尺寸

φ60mm

观察窗热台间距

75mm

加热台温度

35-350℃

加热台温控误差

±1℃

真空度

机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允许正压

≤0.1MPa

真空抽气口

KF25真空法兰

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

电信号接头

SMA转BNC X 4

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V

探针数量

4探针

探针材质

钨针  

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

30mm    ±15mm

X轴控制精度

≤0.01mm 

Y轴移动行程

13mm    ±12.5mm

Y轴控制精度

≤0.01mm 

Z轴移动行程

13mm    ±12.5mm

Z轴控制精度

≤0.01mm 

电子显微镜

显微镜类别

物镜

物镜倍数

0.7-4.5倍

工作间距

90mm

相机

sony 高清

像素

1920※1080像素

图像接口

VGA

LED可调光源

有

显示屏

8寸

放大倍数

19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm