MHI-6

MHI-8

MHI-12

样品台

尺寸

6英寸

8英寸

12英寸

平整度

＜ 15 μm

移动方式

大行程定位采用气浮移动方式，搭配千分尺精细调节移动方式

气浮X-Y总行程

240mm*310mm

330mm*410mm

精调X-Y行程

25mm*25mm

精调移动精度

≤ 1 μm

Z轴行程/移动精度

5 mm（快速升降）/6 mm(微调升降)，微调移动精度2 μm

样品固定方式

真空吸附，多圈环形（中心孔）吸附/多孔吸附

水平旋转

可360°水平旋转，可微调角度12°

可360°水平旋转，可微调角度9°

可360°水平旋转，可微调角度6°

背电极测试

有，样品台电学独立悬空，预留4mm香蕉头插孔

针座吸附平台

平台样式、规格

U型针座平台，最多可放置10个DC针座或6个射频针座

U型针座平台，最多可放置12个DC针座或8个射频针座

行程&调节方式

针座平台Z向微调升降最大行程42.5mm，微调移动精度≤10 μm，带自锁功能

平台快速升降

有，带3档快速升降位置调节，分别是0（探针接触），300 μm（探针脱离），5 mm（装载样品），带自锁功能

光学成像系统

显微镜类型

可选配：金相显微镜（推荐）/体视显微镜/单筒视频显微镜

物镜切换方式

显微镜气动快速升降50 mm

放大倍数

金相显微镜：20 X-4000 X

体视显微镜：（推荐）：16X-100X  (配置20X目镜时，目镜视野总放大倍数，主体变倍0.8X-5X)；

体视显微镜备注：配备0.4X相机C-mount、22寸显示器时，显示器成像总放大倍数约23X - 138X；配备0.65X相机C-mount、22寸显示器时，显示器成像总放大倍数约36X – 224X；配备1X相机C-mount、22寸显示器时，显示器成像总放大倍数约50X-350X；可选：8X-50X (配置10X目镜时，目镜视野总放大倍数)；可选：其他大变倍比体视显微镜（主体变倍0.75X-5X 或1.0X-6.5X等）

镜头规格

目镜：10X，物镜：2X(选配)、5X、10X、20X、50X（选配）、100X（选配）

移动行程

X-Y行程2英寸*2英寸，Z轴行程：50.8mm

移动精度

＜5 μm

显微镜光源

金相显微镜：采用同轴垂直照明系统，标配外置冷光源，2m长的照明光纤

体视显微镜/视频显微镜：标配环形LED光源，可选配同轴光源

CCD像素

200万像素（数字）/500万像素（数字）/1200万像素（数字）

探针座

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

移动精度

2 μm / 0.7 μm / 0.3 μm

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

探针夹具

线缆

三轴线/同轴线

探针固定方式

弹簧固定/管状固定带锁紧

接头形式

BNC/三轴/TNC/SMA/3.5mm/2.92mm/N型/香蕉头/鳄鱼夹等

漏电精度

10PA / 100fA（需配置屏蔽箱）

外形（长*宽*高）（mm）

800×750×650

800×750×650

900×800×650

重量（kg）

175 kg

180 kg

200 kg

电力需求

220 V，50～60 HZ

可选附件

光学平台

屏蔽箱

高温样品台

射频测试选件

光电测试选件

有源探针

镀金卡盘

同轴/三轴卡盘

转接头

积分球测试选件

光纤夹具耦合测试选件

PCB/封装夹具测试选件

高压/大电流卡盘及套件

探针卡夹具（可安装针卡）

显微镜暗场/DIC选件

激光器

共聚焦显微扫描光电流成像系统

激光共聚焦拉曼+瞬态荧光成像系统

空气薄膜隔振器

根据客户要求特殊定制

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