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产品介绍
MID系列探针台,是一款用于4-6英寸及以下尺寸晶圆的精密探针台,最大可提供8英寸卡盘。该系列探针台采用显微镜龙门结构,结构稳定,显微镜平移台可进行X-Y-Z方向精密位移调节,显微镜放大倍率高,操作方便,同时支持多种功能升级,非常适合晶圆级测试应用,该产品主要应用于集成电路、芯片、MEMS器件、管芯晶圆、LED、LCD、太阳能电池等行业的测试及研究领域。
产品特点
◆带卡盘快速拖出机构,方便晶圆上下片
◆显微镜底座采用龙门结构,刚性好,保证高质量光学成像
◆金相显微镜气动升降调节,方便更换物镜或探针卡夹具、针卡
◆卡盘可360°旋转及小角度微调
◆兼容金相显微镜、体视显微镜,可精密微调移动
◆平移台精密丝杆传动结构,无回程差设计,定位精准
◆可集成积分球,进行光电测试
◆可选配高低温测试卡盘
◆可选配高精密电动平移台
◆模块化设计,方便后期功能扩展升级
应用方向
晶圆(芯片)/MEMS传感器/LED/LD/PD/叉指电极的电学性能测试;材料或器件的I/V、C/V、C/F、有源测试、耐压测试、ESD测试、混合参数测试等;封装器件/PCB板测试;射频测试、高频/低频测试等
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