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应用方向
MCVP系列高低温真空探针台,能够为测试样品提供高真空和极端高温/低温的测试环境,非常适合各种半导体材料、芯片和电子元器件的无损测试,应用方向有:真空&极端温度条件下的芯片/MEMS/NEMS测试;宽温区材料或器件的IV/CV特性测试;LD/LED/PD测试;光谱特性测试;霍尔效应测量;可变磁场环境中电磁输运特性测试;微波射频测试;瞬态光电流响应测试;拉曼-瞬态荧光寿命成像;电-光效应测试;超导测试试验等。
产品特点
◆高真空度,真空度优于5×10-4 Pa (约4×10-6 Torr)
◆高精度温控系统,自动冷媒流量控制,4.5 K / 77.4 K -675 K温度区间内精确控制样品台温度
◆防辐射屏设计,保证样品温度均匀
◆兼容高倍率金相显微镜
◆采用液氮或氦气压缩机制冷
◆可选配开尔文探针,更低的漏电精度
◆可升级光学、光电流测试、光学接入等
◆可定制加载磁场的真空探针台
技术参数
型号 |
MCVP-2 |
MCVP-4 |
MCVP-2C |
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本体 |
样品台尺寸 |
2英寸 |
4英寸 |
2英寸 |
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样品固定方式 |
弹簧压片或真空导热硅脂 |
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样品台类型 |
固定 |
固定 |
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观察窗尺寸 |
2英寸 |
4英寸 |
2英寸 |
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真空度 |
优于4×10-6 Torr |
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探针臂接口 |
最多6个探针臂接口 |
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温控系统 |
制冷方式 |
液氮 |
制冷机 |
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温度范围 |
77.4 K -675 K |
4.5 K -675 K |
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温控精度 |
0.1 K / 0.01 K / 0.001 K |
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温度稳定性 |
±0.3 K (473 K-675 K),±0.1 K(>-153 K),±0.2 K(<-153K) |
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控制方式 |
开循环自动液氮流量控制 |
闭循环自动控制 |
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加热电源 |
LVDC低压直流 |
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加热功率 |
100 W / 200 W / 500W / 1000W |
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传感器 |
硅二极管 或 PT100 |
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传感器数量 |
样品台、探针臂、防辐射屏各1个 |
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显微镜光学系统 |
类型 |
体视显微镜/ 单筒视频显微镜/金相显微镜 |
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放大倍率 |
16X-200X(体视显微镜,其他变倍比可选)/ 20X -4000X(金相) / 视频显微镜(主体变倍范围0.7X-4.5X或0.58X-7.0X等可选) |
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移动行程 |
双臂万向支架,可水平方向任意位置无死角前后移动,360°旋转,Z轴行程50.8 mm(适合体视或单筒视频显微镜) / X-Y微调移动2英寸× 2英寸或4英寸×4英寸(适合金相显微镜) |
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光源 |
外置LED光源 / 同轴光源 |
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CCD相机 |
200 W / 500 W / 1200 W像素可选 |
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探针臂 |
X-Y-Z移动行程 |
50 mm -50 mm-25 mm |
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探针调节方式 |
外置探针臂,手动调节,真空波纹管结构 |
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移动精度 |
10 μm / 2 μm / 1 μm |
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探针夹具 |
固定探针方式 |
同轴管状固定 / 三轴管状固定 |
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线缆 |
同轴 / 三轴 / 射频同轴 |
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漏电精度 |
10 pA / 100 fA / 10 fA |
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连接器类型 |
BNC / 三同轴TRB / SMA /3.5 mm / 2.92 mm / 2.4 mm /1.85 mm /香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子 / 光纤接口 |
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探针 |
直流探针规格 |
针尖直径:0.2μm /1 μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm / 50μm |
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射频探针频率范围 |
DC~67 GHZ |
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真空系统 |
机械泵 / 分子泵真空机组 |
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外形尺寸(长×宽×高)(mm) |
约 900×900×600 |
约1000×1000×600 |
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重量 |
约180 kg |
约190 kg |
约 300 kg |
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电力需求 |
AC 220 V ,50 ~ 60 HZ |
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可选附件 |
超高温升级选件 |
超高真空选件 |
镀金卡盘 |
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离子泵 |
移动样品台 |
高压测试选件 |
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光电流扫描成像系统 |
气敏测试选件 |
射频测试配件 |
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拉曼-瞬态荧光寿命成像系统 |
其他定制 |
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