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高低温真空探针台

高低温真空探针台

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应用方向

MCVP系列高低温真空探针台,能够为测试样品提供高真空和极端高温/低温的测试环境,非常适合各种半导体材料、芯片和电子元器件的无损测试,应用方向有:真空&极端温度条件下的芯片/MEMS/NEMS测试;宽温区材料或器件的IV/CV特性测试;LD/LED/PD测试;光谱特性测试;霍尔效应测量;可变磁场环境中电磁输运特性测试;微波射频测试;瞬态光电流响应测试;拉曼-瞬态荧光寿命成像;电-光效应测试;超导测试试验等。


产品特点

◆高真空度,真空度优于5×10-4 Pa (约4×10-6 Torr)

◆高精度温控系统,自动冷媒流量控制,4.5 K / 77.4 K -675 K温度区间内精确控制样品台温度

◆防辐射屏设计,保证样品温度均匀

◆兼容高倍率金相显微镜

◆采用液氮或氦气压缩机制冷

◆可选配开尔文探针,更低的漏电精度

◆可升级光学、光电流测试、光学接入等

◆可定制加载磁场的真空探针台


技术参数

型号

MCVP-2

MCVP-4

MCVP-2C

本体

样品台尺寸

2英寸

4英寸

2英寸

样品固定方式

弹簧压片或真空导热硅脂

样品台类型

固定

固定

观察窗尺寸

2英寸

4英寸

2英寸

真空度

优于4×10-6 Torr

探针臂接口

最多6个探针臂接口

温控系统

制冷方式

液氮

制冷机

温度范围

77.4 K -675 K

4.5 K -675 K

温控精度

0.1 K / 0.01 K / 0.001 K

温度稳定性

±0.3 K (473 K-675 K)±0.1 K>-153 K),±0.2 K<-153K

控制方式

开循环自动液氮流量控制

闭循环自动控制

加热电源

LVDC低压直流

加热功率

100 W / 200 W / 500W / 1000W

传感器

硅二极管 PT100

传感器数量

样品台、探针臂、防辐射屏各1

显微镜光学系统

类型

体视显微镜/ 单筒视频显微镜/金相显微镜

放大倍率

16X-200X(体视显微镜,其他变倍比可选)/ 20X -4000X(金相) / 视频显微镜(主体变倍范围0.7X-4.5X0.58X-7.0X等可选)

移动行程

双臂万向支架,可水平方向任意位置无死角前后移动,360°旋转,Z轴行程50.8 mm(适合体视或单筒视频显微镜) / X-Y微调移动2英寸× 2英寸或4英寸×4英寸(适合金相显微镜)

光源

外置LED光源 / 同轴光源

CCD相机

200 W / 500 W / 1200 W像素可选

探针臂

X-Y-Z移动行程

50 mm -50 mm-25 mm

探针调节方式

外置探针臂,手动调节,真空波纹管结构

移动精度

10 μm / 2 μm / 1 μm

探针夹具

固定探针方式

同轴管状固定 / 三轴管状固定

线缆

同轴 / 三轴 / 射频同轴

漏电精度

10 pA / 100 fA / 10 fA

连接器类型

BNC / 三同轴TRB / SMA /3.5 mm / 2.92 mm / 2.4 mm /1.85 mm /香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子 / 光纤接口

探针

直流探针规格

针尖直径:0.2μm /1 μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm / 50μm

射频探针频率范围

DC67 GHZ

真空系统

机械泵 / 分子泵真空机组

外形尺寸(长××高)(mm)

900×900×600

1000×1000×600

重量

180 kg

190 kg

300 kg

电力需求

AC 220 V 50 60 HZ

可选附件

超高温升级选件

超高真空选件

镀金卡盘

离子泵

移动样品台

高压测试选件

光电流扫描成像系统

气敏测试选件

射频测试配件

拉曼-瞬态荧光寿命成像系统

其他定制

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