MF-4

MF-6

MF-8

样品台

尺寸

4英寸

6英寸

8英寸

X-Y移动行程

4英寸*4英寸

6英寸*6英寸

8英寸*8英寸

X-Y移动精度

10 μm

Y轴行程

5 mm（快速升降）/6 mm(微调升降)

样品固定方式

真空吸附，多圈环形、中心孔吸附/多孔吸附

快速拖出行程

80 mm

120 mm

150 mm

水平旋转

可360°水平旋转，可微调角度16°

可360°水平旋转，可微调角度12°

可360°水平旋转，可微调角度9°

背电极测试

有，样品台独立悬空，预留4mm香蕉头插孔

针座吸附平台

长方形针座平台，最多可放置6个针座

长方形针座平台，最多可放置8个针座

长方形针座平台，最多可放置10个针座

光学成像系统

显微镜类型

可选配：连续变倍体视显微镜/单筒视频显微镜

放大倍数

可选（推荐）：16X-100X  (配置20X目镜时，目镜视野总放大倍数,主体变倍0.8X-5X)。备注：配备0.4X相机C-mount、22寸显示器时，显示器成像总放大倍数约23X - 138X，配备0.65X相机C-mount、22寸显示器时，显示器成像总放大倍数约36X – 224X；配备1X相机C-mount、22寸显示器时，显示器成像总放大倍数约50X-350X。

可选：8X-50X (配置10X目镜时，目镜视野总放大倍数)；

可选：其他大变倍比体视显微镜（主体变倍0.75X-5X 或1.0X-6.5X等），或大变倍比视频显微镜（主体变倍范围0.7X-4.5X或0.58X-7.0X等）。

移动行程

采用双臂万向显微镜支架，水平方向可绕立柱360°旋转，水平方向前后可自由调节，Z轴50.8 mm

显微镜光源

标配环形LED光源，可选配同轴光源；可选配同轴&环形双光源集成模块，带切换开关

CCD像素

200 W像素（数字）/ 500 W像素（数字）/ 1200 W像素（数字）

探针座

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

移动精度

2 μm / 0.7 μm / 0.3 μm

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

探针夹具

线缆

三轴线/同轴线

探针固定方式

弹簧固定/管状固定带锁紧

接头形式

BNC/三轴/TNC/ SMA/3.5mm/2.92mm/N型/香蕉头/鳄鱼夹等

漏电精度

10PA / 100fA（需配置屏蔽箱）

外形（长*宽*高）（mm）

400×400×500

550×550×500

700×700×500

重量（kg）

约45 kg

约65 kg

约75 kg

电力需求

220 V，50～60 HZ

可选附件

光学平台

屏蔽箱

高温样品台

有源探针

射频测试选件

光电测试选件

转接头

镀金卡盘

积分球测试选件

光纤夹具耦合测试选件

PCB/封装夹具测试选件<

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