罗茨真空泵又称为机械增压泵，是一种容积式干式真空泵。该泵主要由一对同步高速旋转的“8”字形转子与两个半圆形泵腔组成。该泵不能单独排气，必须与前级泵（如螺杆泵、水环泵、滑阀泵等）串联使用。在前级泵进气口前面串联上罗茨真空泵组成机组可提高前级泵的真空度，在有效工作范围内可以大大提高抽气速率。使用水冷电机驱动，实现对大气的绝对密封。
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