在真空腔体内，水汽分子是最典型的环境污染气体,占腔内残余气体65%到95% ,当真空度达到10-2Pa时， 水汽分子用平常真空泵难排出腔体，是典型的副作用的污染气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。为了快速的达到较高的真空度，C0OL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔内的水汽，辅助抽真空，在极短的时间达到需求的真空度0OL系列水汽深冷捕集泵工作原理将-个冷阱盘管或挡板,放在真空室内的腔璧上或油扩散泵的泵口,通过制冷盘表面，实现低温冷凝效应，迅速捕集集真空泵统的水汽分子或其它残余气体分子，从而获得洁净的真空环境，提高产品的产建和质量，改善纏膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。C0OL系列水汽深冷捕集泵有单级和双级的配置,双级制冷可单独控制每一路的制冷，两路冷阱盘管或挡板都能被快速除霜。
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